产品技术参数：
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产品名称 |
型号 |
纯度（%） |
形状 |
颜色 |
| Sc 钪靶材 |
RDB-BC-Sc |
3N,3N5,4N | 平面靶，旋转靶 | 金属色 |
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备注：根据用户需求可提供不同粒度的产品。 |
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产品性能：
Sc（钪）靶材通常用于薄膜沉积、半导体生长和其他材料科学研究领域。它们在物理蒸发、磁控溅射和分
子束外延等工艺中用于生长钪化合物薄膜和其他相关应用。钪靶材的纯度通常为3N，并且可以根据需要加
工成平面靶或异型定制尺寸。
应用方向：
集成电路制造：钪靶材在集成电路制造中用于溅射镀膜工艺，溅射出的钛薄膜可以作为阻挡层、扩散阻挡
层、粘附层、电极等，用于制造MOS器件、DRAM存储器、NPN/PNP三极管等。
太阳能电池：钪靶材在太阳能电池制造中用于溅射镀膜，形成太阳能电池的反射层，提高光电转换效率。
平板显示器：在平板显示器制造中，钪靶材用于溅射镀膜，形成显示器的薄膜电容器、导电膜、保护层
等，提高显示器的性能和稳定性。
建筑装饰：钪靶材在建筑装饰行业中也有应用，通过溅射镀膜技术，可以在玻璃、瓷砖、金属等材料表面
形成钛膜，提高建筑物的隔热、隔音、防紫外线等功能。
汽车行业：钪靶材在汽车行业中的应用，例如在车窗玻璃上溅射镀膜，可以提高汽车的隔热性能，减少汽
车空调的使用，降低能耗。
航空航天领域：钪由于其低密度和高熔点，常被添加到钛合金中，用于制造飞机和火箭的发动机部件，如
涡轮机、喷气发动机和火箭喷嘴。
薄膜涂层：金属钪可用于制作各种薄膜涂层，如光学镜片、太阳能电池、显示器等，金属钪的高导电性和
抗氧化性能使其在这些领域具有较好的应用前景。
技术支持：
公司可提供金属材料，二维纳米材料，石墨烯材料，稀土材料，高熵合金材料等方面的应用技术支持；
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注意事项：
本品应储藏于阴凉、干燥室内、避免重压。未经表面处理的靶材，使用过程中不宜暴露空气中，以免
吸湿，影响性能和使用效果。
工艺流程：
