产品技术参数:
产品名称 |
型号 |
纯度(%) |
形状 |
颜色 |
Pt 铂靶材 |
RDB-BC-Pt |
2N5,3N5,4N | 颗粒靶 | 银色 |
备注:根据用户需求可提供不同粒度的产品。 |
产品性能:
高纯度:铂靶材的纯度通常在4N(99.99%)到5N(99.999%)之间,这使得它在化学稳定性和耐腐蚀性方面表现出色。
高熔点和高沸点:铂的熔点高达1773℃,沸点更是达到3807℃,这使得铂靶材在高温环境下仍然保持稳定。
良好的导电性和导热性:铂的导电性和导热性非常好,这使得它在电子器件制造中具有很高的应用价值。
化学稳定性:铂在大多数化学环境下都非常稳定,不易与任何物质发生反应,这使得它在制备薄膜和涂层时具有很高的可靠性。
高硬度和耐磨性:铂具有很高的硬度,耐磨性也非常好,因此在制备薄膜和涂层时具有很高的应用价值。
晶粒尺寸控制:铂靶材的晶粒尺寸可以控制在≤100μm,这对于提高薄膜的均匀性和性能至关重要。
氧含量低:氧含量控制在≤100ppm,这有助于减少薄膜中的杂质,提高薄膜质量。
焊合率高:铂靶材的焊合率≥97%,这意味着靶材与背板之间的结合非常牢固,有助于提高溅射过程中的稳定性。
形状和尺寸的可定制性:铂靶材可以根据不同应用的需求定制成不同的形状和尺寸,如平面靶、异型定制等。
应用广泛:铂靶材不仅在集成电路、半导体制造中有应用,还在光学涂层、光伏产业、液晶显示、航空航天等领域有广泛的应用。
应用方向:
半导体工业:铂靶材在半导体分离器件和集成电路等领域有重要应用。高纯铂靶材是制备高质量薄膜和涂层的重要材料之一,用于制作高温超导材料、大功率电子管、高精度电阻器等。在超大规模集成电路中,镍铂合金靶材用于源、漏、栅极与金属电极间的接触,随着技术节点的缩小,镍铂合金中的铂含量可能会增加,以提高镍铂硅薄膜的高温稳定性并改善界面形貌。
薄膜制备:铂靶材用于制备太阳能电池、平板显示器、金属有机物化学气相沉积等领域的薄膜和涂层,这些薄膜和涂层具有高透光性、高导电性、高硬度等特点。
光伏产业:在光伏产业中,铂靶材主要用于太阳能电池的电极制造,由于其良好的导电性和化学稳定性,成为光伏产业中的重要材料。
液晶显示行业:铂靶材在液晶显示屏(LCD)的制作中扮演着重要角色,用于制作偏光片上的透明电极,以提高显示器的对比度和色彩准确性。
航空航天:铂靶材在航空航天领域的应用越来越广泛,例如,铂电极被用于火箭发动机的燃烧室,以及飞机上的高温部件,这得益于铂的高熔点、高沸点、高电化学性能,以及其稳定的化学性质。
信息存储领域:铂靶材在磁记录设备如硬盘的多层膜结构中,用于籽晶层、底层和磁性层的制备,其中CoCrPt合金是常用的材料,钌及铂合金、钯合金在硬盘中应用较多。
其他领域:铂靶材还用于Low-E玻璃、刀具、模具涂层、仪表接触器、开关触点、电阻测温、夜视仪、薄膜电阻、燃料电池和透明导电薄膜等。
技术支持:
公司可提供高熵合金熔炼服务,高熵合金铸锭、颗粒、粉末,3D打印金属材料,纳米材料,靶材,石墨烯材料,稀土材料等方面的应用技术支持,具体应用咨询请与销售部人员联系。
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注意事项:
本品应储藏于阴凉、干燥室内、避免重压。未经表面处理的靶材,使用过程中不宜暴露空气中,以免
吸湿,影响性能和使用效果。
工艺流程: