产品技术参数:
产品名称 |
型号 |
纯度(%) |
形状 |
颜色 |
PdCu 钯铜合金靶材 |
RDB-BC-PdCu |
2N5,3N5,4N | 颗粒靶 | 玫瑰金色 |
备注:根据用户需求可提供不同粒度的产品。 |
产品性能:
高纯度:钯铜合金靶材通常具有很高的纯度,这有助于确保沉积的薄膜具有优良的质量和性能。例如,某些钯靶材的纯度可达到99.95%(3N5)。
高密度和均匀性:钯铜合金靶材的密度高,组织成分均匀,这有助于提高薄膜材料的质量和性能。通过特定的制备工艺,如冷喷涂和后续的轧制与热处理,可以确保合金元素的均质化,从而提高靶材的致密度和组织均匀性。
热稳定性:钯铜合金靶材具有良好的热稳定性,这对于在高温下进行的镀膜工艺尤为重要。
优异的导电性:铜本身具有很高的电导率,当与钯形成合金时,这种特性可以为薄膜提供优异的导电性能。
良好的机械性能:钯铜合金靶材通常具有较好的机械性能,包括硬度和抗拉强度,这有助于在溅射过程中保持靶材的完整性。
晶粒尺寸控制:通过精确的制备工艺,钯铜合金靶材的平均晶粒尺寸可以得到有效控制,从而影响薄膜的微观结构和性能。
环境适应性:钯铜合金靶材在不同的溅射设备和工艺条件下都能保持良好的性能,适用于多种半导体制造工艺。
可回收性:钯铜合金靶材在使用后可以回收再加工,这有助于提高材料的利用率并降低成本。
应用方向:
电子行业:钯铜合金靶材在电子行业中主要用于薄膜沉积技术,用于制造薄膜材料,如钯膜、合金膜、多层膜等。这些薄膜材料可以用于制备电子器件,如钯基电容器、钯基电阻器等。
光电领域:在光电领域,钯铜合金靶材用于制备光电器件,如太阳能电池、光电探测器等。这些器件依赖于钯铜合金的导电性和光学性质来提高性能。
光学领域:钯铜合金靶材在光学应用中,可以用于制备用于光学镀膜、光学器件等领域的材料。这些材料可以提高光学器件的性能,如反射率、透光率及滤光特性。
磁性材料:在磁性材料领域,钯铜合金靶材用于制备磁性薄膜、磁性合金等材料,应用于磁存储器件、传感器等领域。这些材料利用了钯铜合金的磁性能,以实现高效的数据存储和传感。
半导体制造:钯铜合金靶材在半导体芯片制造中也有应用,尤其是在集成电路的互连线、阻挡层、通孔、接触层、金属栅极等薄膜材料的制备中。随着技术节点的缩小,对靶材的纯度和性能要求越来越高。
催化剂:钯本身是一种重要的催化剂,广泛应用于化学工业中的氢化反应、氧化反应、加氢反应等。钯催化剂具有高活性、高选择性和长寿命等特点。
饰品和珠宝:钯具有银白色的外观和良好的光泽,被用于制造饰品和珠宝,其抗氧化性和耐腐蚀性比银好,且价格相对较低。
医疗器械:钯被应用于一些医疗器械中,如手术器械、牙科器械和植入物等,因其具有生物相容性和抗腐蚀性。
汽车催化转化器:钯被广泛应用于汽车尾气处理系统中的催化转化器,能够催化将有害气体转化为无害物质,减少污染。
技术支持:
公司可提供高熵合金熔炼服务,高熵合金铸锭、颗粒、粉末,3D打印金属材料,纳米材料,靶材,石墨烯材料,稀土材料等方面的应用技术支持,具体应用咨询请与销售部人员联系。
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注意事项:
本品应储藏于阴凉、干燥室内、避免重压。未经表面处理的靶材,使用过程中不宜暴露空气中,以免
吸湿,影响性能和使用效果。
工艺流程: