产品技术参数:
产品名称 |
型号 |
纯度(%) |
形状 |
颜色 |
AgPd 银钯合金靶材 |
RDB-BC-AgPd |
2N5,3N5,4N | 平面靶 | 银色 |
备注:根据用户需求可提供不同粒度的产品。 |
产品性能:
高纯度:银钯合金靶材通常具有很高的纯度,纯度可达4N(99.99%)以上,这有助于确保在溅射过程中沉积的薄膜具有优异的电学和光学性能。
良好的导电性和热导性:银钯合金靶材因其成分金属的优良导电和导热性能,在制备薄膜时能够提供稳定的导电和热性能。
优异的化学稳定性:银钯合金在高压、高温、强磁场等环境下能够稳定工作,这使得它在化学气相沉积、磁控溅射、离子注入等制备薄膜、涂层和器件的过程中非常可靠。
高密度和均匀性:银钯合金靶材经过特殊的制备工艺,如冷喷涂工艺,可以使其具有高致密度和组织成分的均匀性,这有助于提高薄膜材料的质量和性能。
热稳定性:银钯合金靶材具有高热稳定性,可以在高温环境下保持性能不变,适用于需要高温操作的应用场合。
晶粒尺寸控制:通过精确的制备工艺,银钯合金靶材的晶粒尺寸可以得到有效控制,晶粒尺寸均匀性对溅射薄膜的质量有重要影响。
低孔隙率:银钯合金靶材通过优化的粉末冶金工艺,可以显著降低孔隙率,提高靶材的致密性,从而减少溅射过程中的微粒飞溅和放电现象。
优良的焊接性能:银钯合金靶材可以与背板材料如铜材料进行钎焊连接,以固定装夹、提高强度、提升导电导热性,同时节约成本。
表面质量:银钯合金靶材对表面质量有较高要求,包括表面平整度、加工精度、表面粗糙度等,这些因素直接影响靶材的装配性能和溅射设备的抽真空效果。
应用广泛:银钯合金靶材不仅在半导体领域有重要应用,如集成电路、光电子器件、分立器件和传感器等,还在低辐射玻璃行业、刀具模具行业等领域有广泛应用。
应用方向:
半导体领域:银钯合金靶材用于制备半导体器件中的导电膜、反射膜或配线膜,如集成电路、分立器件、光电子器件和传感器等。这些靶材可以用于制造电极、布线薄膜、储存器电极薄膜等,确保了薄膜的电导性和结构的稳定性。
磁记录靶材:在磁记录领域,银钯合金靶材被用于制备垂直磁记录薄膜、硬盘用薄膜、薄膜磁头和人工晶体薄膜等,这些薄膜对于提高磁存储密度和稳定性至关重要。
光记录靶材:在光记录领域,银钯合金靶材用于制备相变光盘记录薄膜、磁光盘记录薄膜、光盘反射薄膜和光盘保护薄膜等,这些薄膜对于提高光盘的存储能力和数据稳定性非常重要。
显示靶材:银钯合金靶材在显示技术中也有应用,如透明导电薄膜、电极布线薄膜和电致发光薄膜等,这些薄膜对于提高显示设备的分辨率和亮度具有重要作用。
其他应用:银钯合金靶材还被用于装饰薄膜、低电阻薄膜、超导薄膜、工具镀薄膜等,这些应用领域涵盖了从日常用品到高科技产品。
电子行业:银钯合金靶材因其高导电性和稳定性,在电子行业中扮演着重要角色。它们被用于制造电子元件,如集成电路的金属线路和电极,以及显示技术中的液晶显示屏和有机发光二极管(OLED)的制造。
能源领域:银钯合金靶材的优异导电性和高热导率使其成为制造太阳能电池的重要材料之一。它们可以用于制作太阳能电池的电极,提高电能的转换效率。
医学领域:银钯合金靶材因其生物相容性和无毒性,在医学领域中被用于制造医用传感器、植入物、医疗器械等。
光学应用:银钯合金靶材还可以用于制备用于光学镀膜、光学器件等领域的材料,如反射镜、反射屏等光学器件。
催化剂:钯是一种重要的催化剂,广泛应用于化学工业中的氢化反应、氧化反应、加氢反应等。银钯合金靶材可以用于制备这些催化剂。
饰品和珠宝:钯具有银白色的外观和良好的光泽,被用于制造饰品和珠宝。银钯合金靶材因其抗氧化性和耐腐蚀性,比银更适合用作替代材料。
汽车催化转化器:钯被广泛应用于汽车尾气处理系统中的催化转化器。银钯合金靶材能够催化将有害气体转化为无害物质,减少汽车尾气的污染。
技术支持:
公司可提供高熵合金熔炼服务,高熵合金铸锭、颗粒、粉末,3D打印金属材料,纳米材料,靶材,石墨烯材料,稀土材料等方面的应用技术支持,具体应用咨询请与销售部人员联系。
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注意事项:
本品应储藏于阴凉、干燥室内、避免重压。未经表面处理的靶材,使用过程中不宜暴露空气中,以免
吸湿,影响性能和使用效果。
工艺流程: